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　　半导体专用温控设备主要用于半导体制造过程中精确控制反应室的温度，是集成电路制造过程中不可或缺的关键设备。 它是一种自平衡循环装置，主要由换热器、循环泵、压缩机和控制系统组成。 半导体专用温控设备主要应用于刻蚀、离子注入、扩散、薄膜沉积、化学机械抛光等环节。

　　半导体技术的发展及广泛应用极大推动了科学技术进步和社会经济发展，成为国家重点支持的行业。 近年来，国家相关部委出台了一系列鼓励和支持半导体行业发展的政策，为半导体及其专用设备制造行业发展提供了财政、税收、技术和人才等多方面的有力支持。

　　相关报告：华经产业研究院发布的《 2024-2030年中国半导体专用温控设备行业市场调查研究及投资前景展望报告 》

　　半导体专用温控设备行业是半导体制造装备行业的重要组成部分，其产业链包括上游原材料和零部件供应、中游半导体专用温控设备制造和下游应用市场。上游原材料和零部件是半导体专用温控设备制造的基础，主要包括各种金属材料、非金属材料、电子元器件、电机、传感器等。下游应用市场主要包括集成电路、微电子、光电子、新能源等领域。

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　　半导体专用温控设备作为半导体前道制造不可或缺的一部分，对于半导体制造至关重要。数据显示，全球半导体市场规模呈现波动上行趋势，在某些年份会出现放缓或回落，但随后便会出现反弹。2022年全球半导体市场规模达到约5740亿美元,较2021年5559亿美元同比增长3.3%。

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　　随着半导体制造技术的不断进步和应用的不断扩大，全球半导体专用温控设备市场规模也在不断增长。 根据数据统计，2018年至2022年全球半导体专用温控设备市场空间由5.1亿美元增长至6.99亿美元，复合增长率达8.3%。

　　随着中国半导体产业的快速发展，对半导体专用温控设备的需求不断增加，中国半导体专用温控设备行业市场规模呈现逐年增长的趋势。2018-2022年全国半导体专用温控设备市场空间由1.1亿美元增长至1.64亿美元，复合增长率10.1%。

　　半导体专用温控设备的主要应用领域是集成电路制造，其中蚀刻是最大的下游市场，占有60%的份额。根据统计，2022年我国半导体专用温控设备应用的前三大工艺环节分别是刻蚀、薄膜沉积、涂胶显影，分别占比61.0%、18.1%、10.2%，三个环节合计占比约89.3%。

　　半导体专用温控设备的主要竞争企业有京仪装备、ATS公司、SMC公司等。其中ATS公司、SMC公司在境外市场占据主导地位，在境内市场也实现批量供应。国产半导体专用温控设备起步较晚，且受国内生产工艺水平影响，长期以来国产设备可靠性相对处于劣势。京仪装备为国内厂商，产品已经打破国外厂商垄断地位。数据显示，2022年京仪装备在半导体专用温控设备领域国内市场占有率约为35.73%。

　　京仪装备于2016年成立，主营产品包括半导体专用温控设备、半导体专用工艺废气处理设备和晶圆传片设备三大产品线%。受益于中国半导体行业快速发展，国内主流晶圆厂资本开支大幅度上升，为京仪装备半导体专用设备提供广阔的市场空间及良好的发展机遇。

　　未来，半导体专用温控设备行业将继续保持稳步增长态势，市场规模将不断扩大。 随着半导体制造技术的不断升级和应用市场的不断扩大，该行业的技术创新和产品升级将进一步加强，提高设备控制精度、稳定性和可靠性的同时，更加注重节能环保和降低成本。 此外，中国等新兴市场的快速发展也将为半导体专用温控设备行业提供广阔的市场空间和机遇。

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